高壓高純度氣體過濾器_壓縮空氣氨氣濾芯納米級(jí)過濾器
HF系列不銹鋼高壓氣體專用過濾器它用于半導(dǎo)體制程中高壓高純氣體輸送系統(tǒng)和超高純氣體箱系統(tǒng)。堅(jiān)固的316L不銹鋼結(jié)構(gòu)和50Mpa設(shè)計(jì)壓力以及相對(duì)較輕的重量相結(jié)合、兼具高強(qiáng)度、耐高溫、耐腐蝕、高透氣性及長壽命、能高效濾除壓縮空氣中的塵埃、鐵銹、油霧及碳?xì)浠衔铩⒈Ｗo(hù)系統(tǒng)免受污染、從而提升氣體質(zhì)量、保障設(shè)備高效運(yùn)行。濾芯可更換、維護(hù)簡便。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)
2、輕量化、小型化、減少安裝空間螺紋連接、確保整個(gè)高壓氣體過濾器的密封性兼容C型和W型多種密封規(guī)格
3、耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
4、過濾效率高、不易堵寒
5、安裝與檢修便捷高效
6、100%完整性測試通過
7、100%氨氣泄露檢測通過
技術(shù)參數(shù)
| 濾芯材質(zhì)?? | ? 316L不銹鋼粉末燒結(jié) | 殼體材質(zhì) | 316L不銹鋼 | |
| 表面處理??? | 內(nèi)表面??? | Ra < 1.6μm | 過濾精度μm | ≥10~0.003? |
| 外表面??? | 電解Ras0.13μm? | |||
| 最大工作壓差 | 500bar | 最大工作壓差 | 5bar | |
| 最高使用溫度 | 600°C | 下游潔凈度 | ≥0.03particles/liter @>0.01um rated flow |
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| 氦氣驗(yàn)證泄漏率 | 1×10-1′cc/min | 氦氣測試泄漏率 | 1×10-9cc/min | |
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